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FGL(RTP)系列滑軌式管式爐(Tmax1100℃)
滑軌式管式爐一體化結構設計,用干1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度,然后移動到樣品處,達到快速升溫。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
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