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  真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。接著跟俺一起看看真空燒結爐遇到以下三種情況可以采取的應急措施。  

一、停電  

    1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。  

    2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。  

    3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。  

二、加熱電源掉電  

    1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。  

    2、接地故障。  

    3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。  

    4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。  

三、充氣氣體停止  

    1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。  

    2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。  

    3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。  

    4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。