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主要技術指標
◆X射線管：銅靶，陽極接地，強制風冷
◆管電流：0～4mA，連續可調
◆管電壓：30KVP
◆整機功率：不大于2KW
◆控制方式：計算機
◆射線窗口控制：電動光閘
◆測量精度：±15″
◆射線管和探測器運動方式：計算機控制聯動或單動
◆探測器電壓：閃爍探測器500V～1100V
◆可測晶棒重量：20Kg
◆可測晶棒、晶片直徑：2～8英寸
◆可測**長度：400mm
◆整機外形尺寸：1020×950×1900(mm)
◆重量：350Kg
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