參考價格
5-10萬元型號
CIF-SEM品牌
CIF產地
中國樣本
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CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計，并可自動切換，一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
產品特點
u 雙等離子清洗源
u 一機多用
u 高效低損傷
技術參數
產品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調，自動匹配器 |
氣體控制 | 標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器（MFC），精確測量自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計， 測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質量保證 | 二年質保，終身維護 |
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等離子清洗機也叫等離子清潔機、等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來
等離子處理英文叫（plasmacleaner）又稱等離子清洗機，等離子表面改性設備,電漿清潔機,等離子表面處理機,等離子體表面處理設備,等離子蝕刻機,等離子清洗器,等離子清洗儀，等離子體材料表面改性處
等離子表面處理儀是有用的對外表進行清洗、活化和涂層的處理工藝之一，能夠用于處理各種資料，包括塑料、金屬或許玻璃等?！ 〉入x子表面處理儀是什么
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