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超高真空閘閥-UHV gate valve的組成主要由三個組件組成分別為驅動器,閥車/閥門與閥體。Htc日揚真空(Htc Vacuum)所提供的閘閥可分成應用于高真空與超高真空兩大類, 用于超高真空系統使用的閘閥是屬旋轉式直線作動。藉手動或氣動的驅動閥桿來驅動真空閥門齒輪以達閘門之開闔功能。真空閘閥含有波紋管與無波紋管。接口端可配置KF, ISO, ANSI, JIS與CF法蘭。
Htc日揚真空(Htc Vacuum)設計的所有系列真空閘閥適用于真空排氣系統，超高真空應用的抽氣系統，半導體技術，同步幅射中心與學術研究系統等。
規格說明
材質 | 本體 | 304 S.S. | |||
閥車 | 304 S.S. | ||||
閘門 | 304 S.S. | ||||
波紋管 | AM350 | ||||
使用壽命 | 4吋(包含)以下 | 100,000 cycles | |||
4吋以上 | 50,000 cycles | ||||
1大氣壓力下之漏率 | <5x10-10 mbar. l /sec for gasket seal | ||||
耐溫限制 | 閥門本體 | 開 Open | 200℃ metal bonnet seal | ||
關 Closed | 150℃ metal bonnet seal | ||||
手動式和氣動式之驅動器 | ≤ 80℃ | ||||
使用壓力范圍(mbar) | 1x10-10 ～ 1000 | ||||
**使用壓差 ΔP(mbar) | 開啟前 27mbar | ||||
標準密封 | 閘門 | Viton O-ring | |||
閥蓋 | OFHC copper gasket | ||||
驅動器 | 手動式或氣動式 | ||||
氣壓源 |
| ||||
表面處理 | 表面拋砂處理 | ||||
選配 | a. 位置指示器 | ||||
| 極限開關連接 | D-sub Female 9 pins Current Rating | 3A 110VAC | |||
| 5A 24VDC | |||||
保固條件
自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
操作環境限于空氣, 惰性氣體及真空
因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固范圍內
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