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釔是一種屬于稀土類的陶瓷材料該材料也被稱為釔氧化物，是**一種具有熱學穩(wěn)定性和抗等離子特性的氧化物。另外，該材料可被制成透明材料。氧化釔和Nanoe提供的其他陶瓷材料一樣，以良好的耐磨抗撞特性為特色。
氧化釔在工業(yè)陶瓷領(lǐng)域的應用非常廣泛。該材料具有抗等離子特性和光學特性，因此非常適合用于極端環(huán)境的防護玻璃。該材料還用于制作稀土元素激光的元件，或微電子基片。
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半導體產(chǎn)業(yè)是關(guān)乎國家經(jīng)濟，政治和國防安全的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)。在半導體產(chǎn)業(yè)中，先進陶瓷的研發(fā)與生產(chǎn)水平直接影響我國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此，無論從經(jīng)濟安全角度還是產(chǎn)業(yè)成本考慮，要突破我國半導體產(chǎn)業(yè)面臨“卡脖子”的
等離子刻蝕技術(shù)是在涂膠的晶圓上高效地復制掩膜圖形，通過化學和物理過程選擇性地從晶圓表面去除不需要的材料的一個重要工藝過程，是現(xiàn)代集成電路制造領(lǐng)域不可缺少的工藝步驟。刻蝕機，來源：中微半導體隨著集成電路
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