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超高溫碳化物沉積爐
超高溫碳化物沉積爐

參考價格

面議

型號

HCVD-101015-ZrC

品牌

頂立科技

產地

湖南

樣本

暫無
湖南頂立科技股份有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±5~±20
  • 最高溫度:

    2000
  • 額定溫度:

    2000
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超高溫碳化物沉積爐技術特征

采用先進的控制技術,能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動小;

全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

可選配新設計的防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率低;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2

超高溫碳化物沉積爐產品規格

參數\型號HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
工作區尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
**溫度(℃)2000200020002000200020002000
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

超高溫碳化物沉積爐配置選擇

結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

熱電偶:C/S分度號

紅外儀:單比色/雙比色

真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組


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10分

易用性

10分

性價比

10分
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