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東京精密粗糙度儀SURFCOM NEX可以對應(yīng)粗糙度測量、輪廓測量、粗糙度輪廓形狀綜合測量這三種功能，可以根據(jù)測量目的選擇相應(yīng)的傳感器。而且使用的是線性驅(qū)動，今天我們主要來說說東京精密nex必須使用線性驅(qū)動的理由：

1、憑借線性驅(qū)動部獲得令人吃驚的低振動

無限提升傳感器的分辨率本身并非難事。然而，如果不重新審視傳感器的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，只是不必要地提升傳感器單體的分辨率，那么就完全沒有意義，這樣的規(guī)格也只是擺設(shè)而已。東京精密在全世界**在驅(qū)動部搭載高精度線性馬達(dá)（已取得**），同時根本性地達(dá)到結(jié)構(gòu)上的“高精度極限點”，以動態(tài)分辨率的創(chuàng)意實現(xiàn)了****的實力提升。

2、非接觸驅(qū)動的有效性

線性馬達(dá)也適合往復(fù)運動，可準(zhǔn)確定位并進(jìn)行高速測量。傳統(tǒng)的控制是組合了電機、編碼器、線性光柵尺的滾珠絲杠驅(qū)動控制，因此特別是對于三維表面性狀評價等，由于準(zhǔn)確定位造成往復(fù)運動的控制響應(yīng)性出現(xiàn)了極限。線性驅(qū)動基本上是僅靠線性馬達(dá)和標(biāo)尺的簡單控制，因此可進(jìn)行高響應(yīng)性高精度的定位。

3、對位

為了不損害線性馬達(dá)的超低振動特性，安裝在X軸驅(qū)動部的手動進(jìn)給機構(gòu)在實際測量時，自動將手動齒輪機構(gòu)與線性測量機構(gòu)的連接分離開來。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度。此外，在手持操作部，為了能夠在操縱桿操作以外切實操作微細(xì)的對位，布局了微動進(jìn)給用JOG撥盤。

4、實現(xiàn)世界**水平的高速測量

線性驅(qū)動部與無效運動極少的以1/100秒為單位的聯(lián)合控制與啟動響應(yīng)相結(jié)合，實現(xiàn)了總測量時間的大長縮短。進(jìn)行三維粗糙度測量時，測量時間為“傳統(tǒng)測量時間的1/10x測量線數(shù)”。如果測量時間短，室溫變化等的測量誤差要素的影響就小，這直接關(guān)系到測量結(jié)果的可靠性。

5、擁有溫度補正系統(tǒng)，使精度保證溫度范圍擴大到20℃±5℃

東京精密粗糙度儀SURFCOM NEX系列的驅(qū)動部配備了標(biāo)準(zhǔn)溫度補正系統(tǒng)，使精度保證溫度范圍從原來的20℃±2℃擴大到了20℃±5℃.以往，因為溫度變化引起的熱脹冷縮會使X方向的指示精度受到影響，但是內(nèi)置的溫度傳感器會根據(jù)實際的變化，自動進(jìn)行補正。溫度的補正與否對傳感器的精度影響非常大，通過組合實現(xiàn)溫度補正時NEX系列特有的功能。

6、免維護

日常不需要向驅(qū)動機構(gòu)加注潤滑脂、潤滑油。因為更改了驅(qū)動支持導(dǎo)軌面的材質(zhì)和機構(gòu)，對無給油進(jìn)行實證，實現(xiàn)了日常免維護。但是基于保證測量精度的觀點，我們推薦定期維護。