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澤攸科技的JS10B臺階儀是一款高精度、高分解能力的手動臺階儀，以其一體花崗巖結構提供穩定可靠的重復性測量。該設備配備彩色攝像頭，能夠同時對樣品和針尖進行成像，實現無畸變的觀察樣品區，方便用戶精確定位特征區域。在探針掃描過程中，用戶可以實時觀察掃描區域，這大大提高了操作的便捷性和測量的準確性。
臺階儀可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著廣泛應用。
長期以來，這一領域被國外產品壟斷。而澤攸科技自主研發的JS系列高精度臺階儀，憑借突破性的關鍵技術，打破了國外壟斷，是半導體國產化進程中不可或缺的一環。
特點
量測精確、操作便捷、體積小巧、超高性價比
應用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
▲ 各式薄膜等應力測量
系統組成
▲ 臺階儀主機
▲ 電腦及顯示器
選配品
▲ 隔振臺
▲ 高度校準標樣
技術參數
軟件界面
掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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