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PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng)

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PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng)

品牌

安徽澤攸

產(chǎn)地

安徽

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安徽澤攸科技有限公司

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性能指標



氣體流動指標:

● 三通道混氣;

● 氣壓范圍:0 - 1 Bar;

● 氣壓準確度:30 mBar;

● 氣體流速: 0.01 - 0.4 ml/min;

● 可通氣體:H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等;

● 軟件控制。

掃描電鏡指標:

● 兼容指定類型電鏡;

● 保證電鏡原有真空度;

● MEMS反應微腔指標:

● 高質(zhì)量氮化硅膜厚度30 nm;

● 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。

熱學指標:

● 溫度范圍:室溫至800 ℃;

● 溫度準確度:優(yōu)于5%; 

● 溫度穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 ℃;

● 四電極加熱,帶溫度反饋;

● 軟件控制。


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