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Quorum Q150R PLUS系列全自動離子濺射鍍膜儀
Quorum Q150R PLUS系列全自動離子濺射鍍膜儀

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Q150R PLUS 系列全自動真空鍍膜儀

Q150R Plus適用于鎢燈絲/LaB6/部分場發射和臺式SEM。通過Q150R E&ES Plus碳繩鍍膜可用于元素分析,Q150R S&ES Plus可用貴金屬靶材濺射鍍膜。

推薦放大倍數:

? Au、Au/Pd可達5萬倍

? Pt(可選)可達10萬倍

推薦應用:

? 中低倍放大倍數觀察

? 增強二次電子信號(1nm或更小)

? 臺式SEM鍍膜

? 元素分析(EDS)

? 敷銅層研究

Q150R Plus 功能特點:

1)全新升級的用戶界面:

? 電容式觸摸屏,靈敏度高,更易觸控使用

? 用戶界面軟件全面更新,使用現代智能技術界面

? 全面的文字幫助頁面

? USB接口可輕松進行軟件更新和數據備份

? log文件格式為.csv,內含日期、時間和工作參數,導出后可在Excel或類似軟件中分析

? 16GB的閃存可儲存超過1000條鍍膜方案

? 雙核ARM處理器,可實現快速響應的顯示

2)允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案,并根據*近的使用來排列每個用戶的方案。

3)智能邏輯系統自動識別插入頭,并顯示相應的操作設置和控制。

4)系統提示用戶確認靶材,然后自動為該材料選擇合適參數。

5)直觀方便的軟件,即使新手也能快速輸入和存儲其處理參數,創建自己的鍍膜程序,且系統已存儲典型的濺射和鍍碳程序可供直接調用。

6)如果軟件檢測到在一段時間內無法達到設定真空度,系統會終止程序,以防真空泵過熱。

7)可互換的插入頭:允許用戶將系統配置為濺射鍍膜儀、蒸鍍儀或輝光放電系統 - 所有這些系統都可集成在一個設備中,節省空間。可選碳繩蒸發。可自動檢測識別插入頭類型。

8)可拆卸腔室,設有防爆罩:可拆卸玻璃腔室,易清潔底座和頂板。如需要,用戶可快速更換腔室以避免敏感樣品交叉污染。高腔室選項可用于碳蒸發,避免樣品過熱;提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品。

9)多種樣品臺可選:Q150R Plus具有可滿足大多數要求的樣品臺。所有樣品臺都是插入式(無螺絲),易于更換。

10)安全性:Q150R Plus符合行業CE標準

Q150R Plus系列鍍膜儀具有三種型號:

1)Q150R S Plus全自動濺射鍍膜儀,可濺射不氧化金屬。可濺射的靶材包括金、金/鈀合金和鉑。

2)Q150R E Plus全自動碳繩蒸鍍儀,適合SEM領域的EDS和WDS應用。

3)Q150R ES Plus集成了離子濺射和碳蒸鍍兩種方式的全自動鍍膜系統。鍍膜頭可在數秒內更換。

Q150R Plus是Quorum Technologies出品的國際認可的Q系列鍍膜儀的一部分,全球數千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應用提供高質量的鍍膜解決方案,Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。

Q150R Plus主要操作參數:

離子濺射:濺射電流范圍寬,至預設厚度(需選用FTM)終止或定時終止。超長的可設濺射時間,無需破真空,自動內置冷卻占空比。

蒸鍍:穩定的無雜波直流電源控制的脈沖蒸發,確保碳繩蒸鍍的重復性。脈沖蒸發電流范圍寬。

可視化狀態指示:

大而多色的LED指示燈,使用戶在一定距離就可輕松識別過程狀態。

指示燈可顯示以下狀態:

◆ 初始化中 ◆ 程序運行

◆ 空閑狀態 ◆ 正在鍍膜

◆ 程序完成 ◆ 故障停機狀態

程序完成后音頻聲音提示

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