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高通量(場發射）掃描電子顯微鏡 Navigator-100

Navigator-100高通量場發射掃描電子顯微鏡，專為跨尺度大規模樣品SEM表征分析而設計，廣泛應用于科研及工業等領域。其自動化超高速的納米成像技術，為您提供超凡的成像體驗。

-產品介紹

聚束科技獨立研發并擁有自主知識產權的Navigator-100高通量（場發射）掃描電子顯微鏡，通過對成像技術、運動平臺、電路控制及智能算法的系統化創新設計，實現了全球**通量成像，成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術方案，成功克服了傳統SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性，顛覆性地將掃描電鏡從傳統意義上的納米“照相機”提升為納米“攝像機”。同時操作簡單，全自動一鍵換樣，7*24小時無人值守運行，全面提升科研效率。

我們將成熟的工業化高通量電鏡檢測技術應用在生命科學、材料研究、半導體工業、地質資源等領域。尤其在神經生物學3D重構、材料大面積表征分析、半導體反向工程、納米技術分析等應用領域有顯著優勢。

-產品優勢

• 綜合成像速度＞10倍傳統電鏡

• 全球*快二次電子與背散射電子雙通道同步成像

• 海量SEM圖像快速生成數據分析報告

• 從百毫米到納米級的跨尺度材料表征

-產品特點

極速成像

通過自主研發的硬件和軟件設計，實現全球*快二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級高分辨成像2×100M像素/秒），6秒鐘即可拍攝一張6億像素超高清圖像（區域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相較傳統意義掃描電鏡，其掃描速度高出一個數量級以上。

高清視頻級攝像幀率（2×200幀/秒@512×512，或2×60幀/秒@1024×1024），使其具有實時觀測樣品動態變化的能力。

高成像質量

獨特的浸沒式電磁復合物鏡系統，有效地減小低落點能量下物鏡的象差，達到極高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。

與物鏡場復合的靜電式掃描偏轉系統，相比于傳統電鏡的磁偏轉系統，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的**圖像

In-Lens SE與BSE半導體直接電子探測器，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信號電子收集效率，即使在nA級別的大束流條件仍可獲得**的圖像襯度和信噪比。

配備主動補償系統（激光干涉振動補償、電磁干擾主動補償），消除環境因素干擾，保證成像高分辨率高質量。

跨尺度大規模成像

超高速掃描成像能力，結合全自動聚焦跟蹤系統和A.I.圖像處理算法，實現對超大區域（150mm*150mm）樣品進行高分辨率全自動不間斷矩陣式掃描，并自動拼接獲得大尺寸納米級分辨率的全景地圖式成像，使之具備了跨尺度信息融合能力，可實現從納米級到毫米級的跨尺度材料表征。

智能分析

大數據智能分析 ，海量SEM圖像快速生成數據分析報告；

智能圖像處理，定制化圖像測量、統計、分析。

操作簡單

全自動樣品載入與導航，一鍵完成樣品更換，操作便捷，節省工時。大場光學成像導航與SEM成像無縫銜接，對指定區域快速準確實現定位和觀測。

7*24小時全自動化無人值守運行能力。