看了日立超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus8100的用戶又看了
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產品簡介
除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統的操作輔助功能，維護輔助功能等。
主要特點
搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍
跟前代機型相比分辨率大約提高了20%（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）
**倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1
用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發揮出來
主要參數
| 名稱 | Regulus8100 | Regulus8240/8230/8220 |
| 二次電子分辨率 | 0.8 nm（加速電壓 15 kV） | 0.7 nm（加速電壓 15 kV） |
| 1.1 nm（著陸電壓 1 kV）*2 | 0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*2 | |
| 加速電壓 | 0.5~30 kV | 0.5~30 kV |
| 著陸電壓*2 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV |
| 倍率 | 20~1，000，000倍*3 | 20~2，000，000倍*3 |
| 馬達臺控制 | 3軸自動*? | 5軸自動 |
*1 僅限 Regulus8240/8230/8220
*2 減速模式觀察
*3 127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率
*? 5軸馬達臺為選配項
暫無數據！
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