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測量精度高；方便快捷地分析樣品的表面形貌和粗造度；分辨率高，景深大，清晰觀察不同焦平面上的圖像信息；共焦切層，三維重組，多角度觀察；對不同時間，不同位置的圖像進行無縫拼接，再現性強；可獲得亞微米級的線寬、面積、體積、臺階、線與面粗造度，透明膜厚等幾何參數測量數據。
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