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| 測量系統 | |
| 測量原理 | 白光干涉法 |
| Z-定位系統 | Piezo物鏡調整系統 |
| 高度測量范圍 | **到400um |
| 物鏡放大 測量領域 橫向*小可溶解的間隔 | 2.5x，5x，10x，20x，50x，100x 4.12x3.06mm to 0.103x0.075mm 10.54um or 0.55um |
| 光源 | LED |
| 測量時間 | < 20 sec. |
| 軟件 | |
| smartWLI | 軟件用于測量地形和使用一個直接接口到MountainsMap分析軟件輸出的3D數據 |
| MountainsMap | 廣泛的分析軟件以及輪廓和三維可視化、測量數據預處理和后處理 DIN EN ISO粗糙度和高度的含量測定，順序處理，測量記錄 |
| File formats | ASCII， SUR， BCR-STM， BMP， JPEG， TIFF |
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