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Quantus HP100高壓氣體光譜分析儀
Quantus HP100高壓氣體光譜分析儀

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英福康（廣州）真空儀器有限公司

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特征概覽:

  • 等離子體頻率900M Hz， 光波長范圍：190-890 納米
  • 易更換等離子體組件，低的運行維護費
  • KF40或KF50 標準連接口
  • 良好的探測精度*低至ppb級
  • 寬工作壓力范圍：1乇至1個大氣壓，無需泵組
  • 快速采樣頻率24赫茲
  • 小巧，易安裝

應用：

  • 用于半導體，平板顯示器及太陽能等行業PVD，CVD及刻蝕腔體檢漏，氣體組份比率及等離子體刻蝕終點探測（Endpoint）。

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