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離子束源的結構形式為陽極層離子束，它是一種帶有閉環電子偏移離子發射通道冷陰極形式的離子源。該離子源由作為冷陰極電子發射源的導磁殼體，離子發射通道和位于通道之下對稱分布于殼體之中的陽極構成。連續的通道構成磁場間隙并提供偏移電子閉合回旋和加速。
星弧可為客戶提供應用于各行業的各種離子束模塊，同時配備星弧或其它品牌的相應電源。離子束源的結構形式為
技術特點：
| 典型應用： ● 高精密鏡面模具 ● 半導體封裝模具 ● 有色金屬、石墨、亞克力等材料切割的精密刀具 |
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