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星弧涂層所提供的磁控濺射濺射陰**有平衡或非平衡的磁場設計,靶材的離化率和利用率優異,多跑道的設計可用于大批量工業生產,同時使得設備運營成本降低20%以上。 磁控濺射陰極是標準系列產品,星弧也可根據客戶的具體需求而客制化設計和制造。
技術特點:
● 陰極采用緊湊的矩形平面設計,磁場可沿單軸或雙軸運動
● 在單個圓柱形靶材上*多有三條等離子軌道
● 高達50%的靶材利用率
● 配備星弧電源:DC,RF和中頻AC
● 法蘭連接使得安裝和維修更便捷
典型應用:
● 切削工具,模具具的硬質涂層
● 玻璃,磁盤連續涂層
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