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主要特點

1、傳動裝置為水冷式：設計新穎、結構緊湊、系列間通用、互換性強；水冷式機座，散熱效果佳；滾動軸承及傳動齒輪可加潤滑油運行，使用壽命增長3-5倍；

2、旋轉裝置為行星旋轉機構、據鍍膜工藝不同，設計為：公轉式、公/自轉式；

3、采用氣動門鉸，自動鎖門，減少操作程序，增強真空門整體的密閉性及減少對橡膠密封圈的破壞性；

4、真空容器設計為新型結構，用戶可據自己的需求，升級為多功能鍍膜設備；

5、多弧離子部份采用先進鍍膜工藝技術，即可鍍制裝飾膜，也能鍍制功能膜，數道工藝，一次完成，極為先進科學；

6、智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現全自動控制；

7、報警及保護：異常情況進行報警，并執行相應保護措施。

技術優勢

1、膜層致密、粘附性好；膜層均勻性可調；高穩定性；高功率；

2、均勻性好；優化磁場設計，維護方便；有效水冷設計，靶材可以連續24小時工作；

3、腔體接口通用尺寸，互換性強，優化升級方便；

4、實時記錄歷史數據和分析數據曲線，對品質管理管控和工藝開發有明顯幫助。強大的軟件功能，友好的人機界面，實時記錄工藝數據，利于質量管控、疑難分析、開發新工藝等；

5、模塊化工藝配方，靈活設定子配方和總配方，子配方添加/刪減方便，一鍵式操作即可完成多層工藝配方。