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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列
超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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型號

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列

品牌

佳鼎半導體

產地

山東

樣本

暫無
青島佳鼎半導體

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現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍,可以獲得高穩定的束流。

通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外,為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍。

Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發揮儀器的**性能。

設備特點

沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍

采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的**性能

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

采用污染小、高真空樣品倉

運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度

設備規格


項目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.7 nm
(加速電壓15 kV)
0.8 nm
(著陸電壓1 kV)*3
0.6 nm(加速電壓 15 kV)
0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3

著陸電壓0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
樣品臺樣品臺控制3軸馬達臺(可選5軸馬達臺)5軸馬達驅動
移動范圍X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再現性---±0.5 μm以下含±0.5 μm


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10分

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