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DRX-95型下降爐主要技術參數與性能描述
主要技術參數：
序號 | 名 稱 | 參 數 | 備 注 |
1 | 加熱功率 | 3x5kW | 3段式加熱 |
2 | **加熱溫度 | 1200℃ | |
3 | 工作腔尺寸 | Φ950x1600 | |
4 | 坩堝軸行程 | 480 | |
5 | 坩堝升降速度 | 慢速:0.01-2mm/h 快速:≥200mm/min | |
6 | 生長晶體數量 | 8″-10″---1根 5″-7″----4根 3″-4″----6根 | 根據用戶要求而定 |
7 | 冷爐真空度 | 1Pa | |
8 | 控溫精度 | ≤±0.1℃ | |
9 | 主機占空面積 | 3000×4000×5000 | 長×寬×高 |
性能描述:
1， 觸摸屏+PLC控制;科學合理、穩定可靠的工藝熱場是生長高質量晶體材料的關鍵條件；
2， 3段加熱分別有歐陸控溫儀控制；
3， 溫度/下降速度/位移等多種工藝參數/工藝曲線存儲；
4， 溫度梯度設置范圍:橫向梯度 ≤0.5℃/cm
縱向溫度梯度:5℃--30℃/cm可設置
5， 密閉環境下的坩堝下降設備——采用密閉腔體(真空或氣氛條件)多坩堝下降法晶體生長技術，兼顧了密閉環境(真空或氣氛條件)環境和坩堝下降法的優點，有利于穩定熱場,確保生長出高質量的晶體，防止原料氧化和水解對性能的危害，同時也可防止組分在高溫下的揮發和泄露，避免環境污染；
6， 多坩堝公轉自轉技術——保證每只坩堝受熱均勻，溫度一致，晶體質量均衡；
7， 節能環保——加熱器采用多段式加熱方式，可根據不同工藝要求精確控制各段加熱器，在消耗*低電能的情況下獲得理想工藝條件下；同時，采用密閉的工作腔，不但有利于晶體生長工藝參數的精準獲得，有利于工藝氣體的有序流動，更有利于廢氣的集中排放和處理。
8， 爐底與坩堝運動系統同步升降,在保證坩堝位置精度、運動精度的同時,方便在設備底部裝卸料。
9， 爐蓋可以升起旋轉開，便于安裝、調整熱場。
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