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氧化亞硅燒結爐適用于氧化亞硅等可氣相沉積材料大批量生產；溫差控制精度高，高溫高真空；具備高真空升華，反應，脫脂，脫水，氣相沉積材料自動研磨刮料，爐內收集等特殊工藝能力。
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