非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
1700℃額定溫度：
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1.晶片尺寸：4”～6”；
2.**溫度：1700℃；
3.控溫精度：±1℃；
4.極限真空：優于3Pa；
5.壓力穩定性：100~1000mbar；
6.反應室漏氣率：1E-10Pa·m3/S
7.工藝氣體：SiH4、C3H8、N2、TMAl ；
8.載氣：Ar、H2 。
1.內置式電磁感應加熱，升降溫速度快
2.基片氣浮行星旋轉運動，溫度、外延膜均勻性好
3.三層水平層流送氣，氣流均勻性好
4.噴淋頭水冷，預反應小
5.手套箱裝取片 ，反應室內潔凈度高
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