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CSU200 sic缺陷檢測設備品牌
中科慧遠產地
河南樣本
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csU200 sic缺陷檢測設備
CSU200設備是中科慧遠對SiC襯底及外延產品開發的缺陷檢測設備。該設備通過顯微成像系統和光致發光技術，實現對各類SiC晶片表面及晶體缺陷的檢測和分類。該設備可適用于SiC襯底的來料檢、出貨終檢，以及Sic外延的過程檢和出貨終檢。
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