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碳化硅陶瓷載盤 | |
厚度 | 0.75mm |
直徑 | 156mm |
氣孔徑 | ＜5 μm |
雙面平面度 | ≤15 μm |
TTV | ≤3 μm,5點量測 |
平行度 | ≤15 μm |
翹曲度要求 | 90℃- 250℃ 宏觀目視不翹曲變形 |
密度 | 1.8~2.4 g/cm3 |
氣孔率 | 30%-50% |
抗折強度 | ≤65 Mpa |
熱膨脹系數 | 7.5 （10-6/℃） |
透氣性要求 | 空吸：真空度≥ -30 Kpa |
外觀 | 1.全周去毛邊，銳角倒鈍 |
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