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P21C-系列質量流量控制器/流量計 P21C系列（質量流量控制器/質量流量計）是為高端半導體工藝制程而設計，該系列產品全部采用金屬密封，產品嚴格按照SEMI標準生產制造，符合半導體高端設備工藝需求。 超高精度，可達+0.05%F.S 超快速響應<200ms 重復性對標行業**產品，可達 0.02%F.S. 可定制多種工作壓力、通訊模式、屏幕顯示、機械接口，適用于高精尖端工藝制程
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