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產品介紹：
放置2時藍寶石襯底，用于生長深紫外 LED的外延片
適用機型：
AIX CCS
產品參數：
基材：等靜壓石墨(純度 >6N)
涂層：B-SiC(厚度=110±10 um)
特點：致密度高，耐高溫耐腐蝕，涂層結合力強
使用壽命：>50Run
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