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產品介紹：
可放置8時、12時硅襯底，用于生長硅基半導體用器件
適用機型：
Epsilon 2000 等同系列機臺
產品參數：
基材：等靜壓石墨(純度 >6N)
涂層：β-SiC(厚度=100±10 μm)
特點：致密度高，耐高溫耐腐蝕，涂層結合力強
使用壽命：和進口同款產品相當
湖南聯合半導體科技有限公司
· 公司成立于 2021年
· 主要產品:石墨、SiC和TaC涂層石墨成品
· 包含研發、生產、銷售和服務,
· 為半導體和LED行業提供零部件。
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