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Mu 9660 封測段缺陷檢測設備品牌
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-多尺寸高精度缺陷檢測：支持6"/8"晶圓（含碳化硅/Si/LT等材質），厚度覆蓋150μm~1000μm；
-高吞吐設計：8英寸晶圓@2x鏡達54WPH，6英寸@2x鏡達100WPH；
-結合線陣掃描成像與實時對焦技術，確保成像清晰度與準確性＞95%
-缺陷疊圖分析：支持4次檢測結果坐標對齊及正/背面數據關聯，助力失效分析；
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