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多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)
多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)

品牌

匯成真空

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
廣東匯成真空科技股份有限公司

高級(jí)會(huì)員

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第1年

|

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射頻離子源清洗及后氧化輔助濺射成膜,適用于車載蓋板玻璃和3C產(chǎn)品前蓋玻璃沉積AR膜,其中AR膜可為普通SiO2+Nb2O5膜系,也可為硬質(zhì)SiO2+Si3N4膜系。可選在線AF/AS系統(tǒng),沉積AR+AF/AS膜,AR+DLC+AF/AS膜,兼容2D/3D基材。同時(shí)也適用于3C產(chǎn)品后蓋顏色膜(含漸變色膜)、NCVM膜的加工。

規(guī)格
型號(hào)HCSO-2550V
尺寸Ф2700mm*H2350mm
結(jié)構(gòu)三腔室結(jié)構(gòu)(進(jìn)料室+工藝室+出料室)
性能
轉(zhuǎn)速10~100RPM(可變)
進(jìn)出料室抽速大氣壓至10Pa≤5min
工藝室抽速3.0×10-3Pa≤15min
極限真空度8.0×10-5Pa (成膜室)
濺射靶材Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5,ITO,C ...
主要配置
夾具系統(tǒng)中心旋轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)夾具桶 / 掛板機(jī)械結(jié)構(gòu)傳動(dòng)
掛板Φ2550x H1200 ~ H1800mm
掛板尺寸可客制化調(diào)整
排氣系統(tǒng)低真空泵組 + 高真空泵組 + Polycold
真空控制系統(tǒng)真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng)DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 在線AF/AS蒸發(fā)源
充氣系統(tǒng)MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀
控制系統(tǒng)PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用UV截止濾光片、AR、硬質(zhì)AR膜、硬質(zhì)膜、HR膜、AS/AF等,兼容2D/3D基材
適用波長300nm~780nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)


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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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