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DUV/EUV光罩除塵機品牌
科毅科技產(chǎn)地
廣東樣本
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項目 | 參數(shù) |
應用范圍 | 用于3~5～200nmEUV 同時兼容KrF/ArF |
配備 | 壓縮空氣濾清器、除靜電離子風、X-Ray除靜電系統(tǒng) |
風刀角度 | 可手動調(diào)整高度&角度 |
風量壓力控制 | 電子式氣壓控制 |
暫無數(shù)據(jù)！
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