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DUV/EUV光罩除塵機
DUV/EUV光罩除塵機

參考價格

面議

型號

DUV/EUV光罩除塵機

品牌

科毅科技

產地

廣東

樣本

暫無
科毅科技股份有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 收灰方式:

    -
  • 進風方式:

    -
  • 排放濃度:

    -
  • 阻力損耗:

    -
  • 脫硫率:

    -
  • 風量:

    -
  • 使用溫度:

    -
  • 除塵效率:

    -
  • 工作原理:

    布袋
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項目

參數

應用范圍

用于3~5~200nmEUV 

同時兼容KrF/ArF 

配備

壓縮空氣濾清器、除靜電離子風、X-Ray除靜電系統

風刀角度

可手動調整高度&角度

風量壓力控制

電子式氣壓控制


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10分

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