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項目 | 參數 |
類型 | 自動上片/下片 |
轉速 | 10-6000rpm |
晶圓尺寸 | 2-12吋 |
熱盤溫度 | **150℃ |
控制系統 | PLC,PC |
均勻性 | ≥3% 和 ≤5% |
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