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特性

靈敏度：對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測(cè)，具有可視化測(cè)試的**分辨率

測(cè)量速度：6英寸硅晶圓片，1mm分辨率 ，小于5分鐘

壽命測(cè)試范圍: 20納秒到幾十毫秒

沾污檢測(cè)：源自坩堝和生長(zhǎng)設(shè)備的金屬(Fe)污染

測(cè)量能力：從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品

靈活性：允許外部激光通過觸發(fā)器，與探測(cè)模塊耦合

可靠性： 模塊化和緊湊臺(tái)式儀器，更高可靠性，正常運(yùn)行時(shí)間> 99%

重現(xiàn)性： > 99.5%

電阻率：無(wú)需時(shí)常校準(zhǔn)的電阻率面掃描

用于研發(fā)或生產(chǎn)監(jiān)控的靈活檢測(cè)工具

MDPmap是一個(gè)緊湊的離線臺(tái)式檢測(cè)設(shè)備，對(duì)生產(chǎn)控制或研發(fā)進(jìn)行無(wú)接觸電學(xué)參數(shù)特性檢測(cè)。可測(cè)量參數(shù)如載流子壽命、光電導(dǎo)性、電阻率、缺陷信息在穩(wěn)態(tài)或注入范圍寬短脈沖勵(lì)磁(μ-PCD)。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置可以方便地適應(yīng)各種不同的樣品，包括在不同的制備階段，從生長(zhǎng)的晶圓片到高達(dá)95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。

MDPmap主要優(yōu)點(diǎn)是其高度的靈活性，它允許集成*多4個(gè)激光器，用于從超低注入到高注入，對(duì)依賴于注入水平的少子壽命參數(shù)測(cè)量，或者使用不同的激光波長(zhǎng)提取深度信息。包括偏置光設(shè)置以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件選項(xiàng)。可以使用不同的圖譜進(jìn)行客戶定義的計(jì)算，也可以導(dǎo)出原始數(shù)據(jù)進(jìn)一步評(píng)估。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量任務(wù)，可用一個(gè)預(yù)定義的標(biāo)準(zhǔn)，使常規(guī)測(cè)量只需按一個(gè)按鈕。