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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200
熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200

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型號

熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200

品牌

北京泰科諾

產地

北京

樣本

暫無
北京泰科諾科技有限公司

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設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備

設備型號:HF1200

真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ1200mmxH1200mm

真空系統:高真空泵組系統

基片臺尺寸:Φ500mm2×600mm2 方形基片臺(旋轉、升降可選)

襯底溫度:600 ~ 1100℃

電源:專用熱絲電源 2200A, 恒流或恒功率模式

氣路控制:4 路氣體流量控制

控制方式:PC+PLC+ 觸摸屏控制

占地面積:主機 L5000mm×W3000mm×H4000mm

總功率:≥ 300kW

設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備

設備型號:HF1200

真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ1200mmxH1200mm

真空系統:高真空泵組系統

基片臺尺寸:Φ500mm2×600mm2 方形基片臺(旋轉、升降可選)

襯底溫度:600 ~ 1100℃

電源:專用熱絲電源 2200A, 恒流或恒功率模式

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