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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200品牌
北京泰科諾產地
北京樣本
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設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備
設備型號:HF1200
真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷
真空腔室尺寸:Φ1200mmxH1200mm
真空系統:高真空泵組系統
基片臺尺寸:Φ500mm2×600mm2 方形基片臺(旋轉、升降可選)
襯底溫度:600 ~ 1100℃
電源:專用熱絲電源 2200A, 恒流或恒功率模式
氣路控制:4 路氣體流量控制
控制方式:PC+PLC+ 觸摸屏控制
占地面積:主機 L5000mm×W3000mm×H4000mm
總功率:≥ 300kW
設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備
設備型號:HF1200
真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷
真空腔室尺寸:Φ1200mmxH1200mm
真空系統:高真空泵組系統
基片臺尺寸:Φ500mm2×600mm2 方形基片臺(旋轉、升降可選)
襯底溫度:600 ~ 1100℃
電源:專用熱絲電源 2200A, 恒流或恒功率模式
氣路控制:4 路氣體流量控制
控制方式:PC+PLC+ 觸摸屏控制
占地面積:主機 L5000mm×W3000mm×H4000mm
總功率:≥ 300kW
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在真空領域,衡量真空度的單位豐富多樣,各自有著獨特的起源與應用場景。真空的衡量標準(一)常用單位帕(Pa)作為國際單位制中壓力的基本單位,定義為 1 牛頓的力均勻而垂直地作用在 1 平方米的面積上所產
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