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等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD

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等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD

品牌

安徽澤攸

產地

安徽

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    目前項目團隊自主研發(fā)的CVD設備可在多種襯底上(如金屬、氧化物、半導體表面)直接生長以石墨烯為代表的各類新型二維材料,用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡單廉價,且具有傳統(tǒng)半導體生長工藝的兼容性。

    等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)技術參數(shù)

    應用案例

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