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XRD 系列
晶圓和鑄錠快速準確的晶向定位
從全自動的在線分析到晶圓材料的快速質量檢查,我們的晶向定位解決方案在
設計時考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應用場景。此系列產品利用
XRD分析技術在晶圓生產的全部流程中，提供簡單、快速、高精度的晶體定
向測量，大大提高產品良率。
Omega/Theta（XRD）
用于超快晶體定向的全自動垂直三軸XRD
10秒內完成定向
定向精度：0.003°
定向轉移技術：多鑄錠取向測定，實現高效切割
晶錠端面及定位邊定向和轉移夾具可選
光學測量工具可選，可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度
適應不同樣品的精密樣品轉盤、mapping臺和工裝夾具
搖擺曲線測量
DDCOM（XRD）
緊湊型超快晶體自動定向儀
10秒內完成定向
定向精度：0.01°
兩個閃爍探測器
專為方位角設置和晶向標記而設計
可測直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠
無需水冷
SDCOM（XRD）
用戶友好的緊湊型多功能XRD
超快測量，10秒內返回結果
定向精度：0.01°
定向轉移技術：多鑄錠取向測定，實現高效切割
光學測量工具可選，可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度
樣品直徑1-200mm
無需水冷
XRD-OEM
在線晶體定向測定
標準工業接口，可集成到任何自動化或加工系統中
線切/研磨前對大型晶錠進行全自動在線定向
可內置于磨床和切割機等惡劣環境中使用
平邊/V槽的光學測量功能，如位置、形狀、長度、深度等
Wafer XRD 200 / 300
Wafer XRD 200
無縫融入生產線的全自動高速XRD
用于3-8英寸晶圓片
定向精度：0.003°
產能：100萬片/年
幾秒鐘內提供各種基本參數的關鍵數據，如晶體取向和電阻率、幾何特征（如 V 槽和平槽）、距離測量等
全自動處理和揀選晶圓片
Wafer XRD 300
用于300mm晶圓生產的高速XRD
超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等
定向精度：0.003°
幾秒鐘內提供各種基本參數的關鍵數據，如晶體取向和電阻率、幾何特征（如 V 槽和平槽）、距離測量等
附加功能
晶圓面掃 鑄錠堆垛
自動化晶圓揀選 小樣品夾具
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隨著動力電池和新能源汽車的需求爆發，鋰電正極材料也正在快速迭代，其中三元材料逐漸成為動力電池的主流選擇。目前三元材料中的鎳鈷錳成分分析多采用ICP分析方法，化學分析過程相對復雜、分析時間長、梯度稀釋誤
2021-08-06
XRF在鋰電正極材料元素分析中的應用 水泥和似水泥物（混合材）體系水化過程的X射線衍射分析 馬爾文帕納科綜合樣本手冊 
收獲更多價值 創造更多可能給您更多選擇我們的理由全球頂尖的學者、科學家與研究人員始終信賴我們為各行各業提供的化學、物理和結構分析解決方案。依托行業領軍品牌 Malvern Panalytical、Mi
會期：2025年10月17-20日（17日報到）地點：廣西桂林·桂林大公館主辦：中國晶體學會承辦：桂林理工大學10月17-20日，馬爾文帕納科即將參加于廣西桂林舉行的中國晶體學會第10屆學術年會暨第八
新聞導讀：2025年9月10-11 日，由馬爾文帕納科（Malvern Panalytical）/麥克默瑞提克（Micromeritics）攜手山東聯科科技股份有限公司（以下簡稱 “聯科科技”）、青島
Nature封面文章2025年7月9日，中國科學院地質與地球物理研究所、中國科學院國家天文臺與中國地質大學等科研團隊，利用嫦娥六號采回的月球背面樣品取得的四項研究成果以封面文章形式發表于國際學術期刊《
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