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馬爾文帕納科XRD系列晶向定位
馬爾文帕納科XRD系列晶向定位

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型號

XRD-晶向定位

品牌

馬爾文帕納科

產地

荷蘭

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馬爾文帕納科

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XRD 系列

晶圓和鑄錠快速準確的晶向定位


從全自動的在線分析到晶圓材料的快速質量檢查,我們的晶向定位解決方案在

設計時考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應用場景。此系列產品利用

XRD分析技術在晶圓生產的全部流程中,提供簡單、快速、高精度的晶體定

向測量,大大提高產品良率。


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  • 定向轉移技術:多鑄錠取向測定,實現高效切割

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  • 適應不同樣品的精密樣品轉盤、mapping臺和工裝夾具

  • 搖擺曲線測量


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DDCOM(XRD)

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用戶友好的緊湊型多功能XRD

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  • 定向轉移技術:多鑄錠取向測定,實現高效切割

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  • 樣品直徑1-200mm

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在線晶體定向測定

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Wafer XRD 200 / 300



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無縫融入生產線的全自動高速XRD

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  • 定向精度:0.003°

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  • 幾秒鐘內提供各種基本參數的關鍵數據,如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等

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