看了電子束光刻機的用戶又看了
留言詢價
電話詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
澤攸科技ZEL304G電子束光刻機（EBL）采用場發射電子槍，配合一體化的高速圖形發生系統實現對半導體晶圓的高速、高分辨光刻。該系統標配高精度激光干涉樣品臺，允許用戶實現大行程高精度拼接和套刻需求，在新材料、前沿物理研究、半導體、微電子、光子、量子研究領域發揮重要作用。
產品特色
▲ 激光干涉樣品臺：先進的激光干涉樣品臺，滿足大行程高精度拼接和套刻需求
▲ 場發射電子槍：高分辨場發射電子槍是光刻質量的重要保證
▲ 圖形發生器：在保證超高速掃描的同時實現超高分辨率圖案繪制
樣品臺指標
▲ 標配：激光干涉樣品臺
▲ 樣品臺行程：≥105 mm
▲ 拼接精度：優于50nm（平均值+ 1σ）
▲ 套刻精度：優于50nm（平均值+ 1σ）
電子槍及成像指標
▲ 肖特基場發射電子槍：加速電壓20V~30kV；旁側二次電子探測器和鏡筒內電子探測器
▲ 圖像分辨率：≤1 nm @ 15 kV；≤1.5 nm @ 1 kV
▲ 束流密度：> 7000A/cm2；電子束流≥100nA
▲ *小束斑尺寸：≤2nm
光刻指標
▲ 電子束閘：上升沿<100ns
▲ 寫視場：≥500×500 um
▲ *小單次曝光線寬：＜15nm（同時取決于工藝條件）
▲ 掃描速度：≥20MHz
圖形發生器參數
▲ 控制核心：高性能FPGA
▲ 停留時間*小增量：10ns
▲ **掃描速度：50MHz
▲ 圖形文件格式：GDSII、DXF、BMP等
▲ D/A分辨率：20位
▲ 法拉第杯束流測量：包含
▲ 支持的寫場大?。?0um~500um
▲ 臨近效應校正：可選項
▲ 束閘支持：5V TTL
▲ 激光干涉位移臺：可選項
▲ 掃描方式：順序掃描（Z型）、循環掃描（S型）、螺旋型掃描等多種矢量掃描模式
▲ 曝光模式：支持場校準、場拼接，支持套刻，支持多圖層自動曝光
▲ 外接通道支持：支持電子束掃描、工件臺移動、束閘通斷、二次電子檢測
選配附件
▲ 配套UPS不間斷電源
▲ 配套主動減震臺，*低自然頻率2Hz
暫無數據！
液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)是當前社會中應用非常多的顯示器，在日常生活中隨處可見。LCD主要由彩色濾光片基板(Color filter，CF)、TFT陣列(TF
2025-07-02
柔性光伏太陽能電池具有輕薄、防震、自供電等特征，有集成到建筑物或可穿戴電子設備中的巨大潛力。如果大家留意就會發現，晶硅太陽能電池是當今社會中應用最為廣泛的太陽能電池，在日常生活中隨處可見，盡管科學家
2025-07-03
利用PicoFemto?原位樣品桿發表的研究成果持續更新中，未來小編還將不斷更新產品應用案例。錯過之前報道的老師們也可以在公眾號首頁點擊"往期文章"閱讀。也歡迎大家關注公眾號，這里
2025-07-03
冰是水在自然界中的固體形態，在大自然中也廣泛存在，冰的結構及形成機理研究對云物理及低溫儲存物理至關重要，因此科學家們對冰的研究也歷史久遠。提到冰在較小尺度的存在形態，我們最容易想到的是雪花。如下圖所示
2025-07-03
9月10日至12日，第二十六屆中國國際光電博覽會（CIOE）將在深圳國際會展中心（寶安新館）舉辦。澤攸科技將攜一眾先進科學儀器及最新微納技術領域行業解決方案亮相3B22，我們期待您蒞臨展位參觀，共同探
Cu-Ni-Sn合金因其優異的高強度、熱穩定性、耐磨性、抗腐蝕性以及安全無毒等特性，在航空航天、電子器件和核工業等多個高端領域得到了廣泛應用。特別是Cu-6Ni-6Sn合金，已成功應用于高功率密度柴油
壓電超聲電機（USM）利用壓電材料的逆壓電效應，通過高頻結構振動共振模式實現驅動，具有無齒輪直驅、響應迅速、定位精度高、斷電自鎖、無電磁干擾以及易于微型化等顯著優勢，因此在高精度微機電系統、生物醫療設
電子束光刻機的工作原理介紹？電子束光刻機的使用方法？電子束光刻機多少錢一臺？電子束光刻機使用的注意事項電子束光刻機的說明書有嗎？電子束光刻機的操作規程有嗎？電子束光刻機的報價含票含運費嗎？電子束光刻機有現貨嗎？電子束光刻機包安裝嗎？
手機版：
工商已核實
