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鈣鈦礦大面積蒸發設備ZDF3200品牌
北京泰科諾產地
北京樣本
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1. 技術先進、設計優化,性價比高,性能穩定,使用維護成本低。
2.大面積,復合型,批量制備,潔凈真空不同功能復合涂層制備,可獲得更高電池轉換效率。
3.廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池及復合功能薄膜材料制備等應用。
設備名稱:鈣鈦礦大面積蒸發設備
設備型號:ZDF3200(單片/多片)
鍍膜方式:線源蒸發
真空腔室結構:臥式方箱結構
真空腔室尺寸:L810mm×W700mm×H670mm(鍍膜室)
極限真空:優于5.0x10-?Pa
基片臺尺寸:330mm×420mm
基片溫度:80℃以下
膜厚不均勻性:≤±5.0%(330mmx420mm范圍內)
蒸發源:高低溫線性蒸發源
膜厚監控系統:國產或進口多探頭(可選)
控制方式:PLC + 觸摸屏控制
占地面積:L3200mm×W2000mm×H1800mm
總功率:≥40KW
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磁控濺射設備的主要用途:1.功能性薄膜:具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜;2.裝飾領域:各種全反射膜及半透明膜等;3.微電子領域:在微電子領域作為一種非熱式鍍膜技術,主要應用在化學氣相沉積
什么是鈣鈦礦鈣鈦礦(perovskite),這個有點拗口的名字取自俄羅斯礦物學家Perovski,作為光伏材料的鈣鈦礦,實際上和鈣、鈦、礦三個字都沒太大關系,這是一類與鈣鈦礦(CaTiO3)晶體結構類
熱絲CVD采用高溫下的低壓氣相反應,碳氫化合物在高溫下發生化學反應,生成膜先驅物,當樣品溫度合適時,這些膜先驅物在樣品表面沉積形成金剛砂膜。低壓化學氣相沉積形成的膜層厚度及成分較為均勻,膜層致密。CV
CVD(化學氣相沉積)是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數金屬材料和金屬合金材料。從理論上來說,它是很簡單的:兩種或兩種以上的氣態原材料導入到一個反應室內,
有人曾這樣形容磁控濺射技術——就像往平靜的湖水里投入了石子濺起水花。磁控濺射真空鍍膜技術是物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition)的一種,其原理是:用帶電粒子加速轟擊靶材表面
近年來,新型太陽能電池技術不斷發展,鈣鈦礦電池作為其中的代表之一,一度成為人們關注的熱點。鈣鈦礦電池以其良好的光電轉化效果、簡單的制備工藝和原材料的充足性,被譽為是下一代光伏電池的主流技術之一。近日,