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大面積平板鍍膜設備JCPF3500
大面積平板鍍膜設備JCPF3500

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型號

大面積平板鍍膜設備JCPF3500

品牌

北京泰科諾

產地

北京

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北京泰科諾科技有限公司

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設備名稱:大面積平板鍍膜設備

設備型號:JCPF1600~4500

真空系統:國產或進口分子泵 / 低溫泵 + 羅茨泵 + 機械泵高真空系統

極限真空:優于 2.0×10-4Pa

抽速:從大氣到 3.3×10-3Pa ≤ 30min 升壓率關機 12 小時后真空度≤ 10Pa

工件架尺寸:可根據尺寸定制

工件烘烤溫度 :室溫~ 300℃,可調可控(PID 控溫)

配置:矩形磁控靶、弧源、離子源、偏壓可選

系統:全自動控制系統,個性化的 Tech-Coating 控制菜單,安全保護系統


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