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推薦上海微系統(tǒng)所在300 mm SOI晶圓制造技術(shù)方面實(shí)現(xiàn)突破

中國(guó)粉體網(wǎng)訊近日，上海微系統(tǒng)所魏星研究員團(tuán)隊(duì)在300 mm SOI晶圓制造技術(shù)方面取得突破性進(jìn)展，制備出了國(guó)內(nèi)第一片300 mm 射頻（RF）SOI晶圓。團(tuán)隊(duì)基于集成電路材料全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室300 mm SOI研發(fā)平臺(tái)，依次解[更多]

資訊 晶圓多晶硅硅襯底材料5G
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