推薦非晶硅與低溫多晶硅的區(qū)別

據(jù)報道，低溫多晶硅LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的縮寫，一般情況下低溫多晶硅的制程溫度應(yīng)低于攝氏600度，尤其對LTPS區(qū)別于a-Si制造的制造程序“激光退火”(laser anneal)[更多]