推薦臺積電減少螢石用量 與HF供應商用磷肥廢料生產電子級氫氟酸

中國粉體網訊 為確保制程關鍵材料「氫氟酸」穩定供應并友善環境，臺積電宣布，已攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，在不影響原有制程品質的前提下成功產制氫氟酸。電子級氫氟酸主要應用于半導體制造過程的清洗和刻蝕等工序，它的純度和潔凈度對[更多]