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極紫外光刻技術(shù)

推薦三星已開(kāi)始使用極紫外光刻技術(shù)量產(chǎn)14納米DRAM芯片

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 10月12日消息,據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,今日,存儲(chǔ)芯片制造商三星電子宣布,它已開(kāi)始使用極紫外光刻(EUV)技術(shù)量產(chǎn)業(yè)界最小的14納米DRAM芯片。三星電子表示,EUV技術(shù)減少了多圖案繪制中的重復(fù)步驟,提高了圖案繪制的[更多]

資訊 三星電子納米DRAM芯片存儲(chǔ)芯片極紫外光刻技術(shù)晶圓
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