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介孔二氧化硅薄膜

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中國(guó)粉體網(wǎng)訊 介孔二氧化硅薄膜(通常指厚度在 300 到 900 納米的薄膜材料)在傳感器、低介電薄膜等眾多領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用。在薄膜中引入介孔有利于進(jìn)一步降低材料的介電常數(shù)。可以說二氧化硅薄膜的介電常數(shù)與材料的孔徑分布和[更多]

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