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靜電卡盤

推薦該企業(yè)申請一項氧化鋁陶瓷靜電卡盤相關專利

中國粉體網(wǎng)訊 近日,國家知識產(chǎn)權局信息顯示,東莞信柏結構陶瓷股份有限公司申請一項名為“陶瓷及其制備方法、靜電卡盤”的專利,公布號CN120157460A。在先進的大規(guī)模集成電路制造過程中有著幾百種工藝步驟,圓片需要在多達幾百[更多]

資訊 氧化鋁氧化鋁陶瓷靜電卡盤高純氧化鋁東莞信柏
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