推薦堅定行走在集成電路化學機械拋光技術的路上——華海清科董事長路新春

中國粉體網訊路新春，華海清科股份有限公司董事長，清華大學機械工程系首席研究員。長期從事納米摩擦學、納米制造理論與技術研究，是我國最早開展納米摩擦學研究的科研人員之一。帶領團隊建立了我國自主的集成電路化學機械拋光技術體系，研制[更多]