中國粉體網訊 半導體機械手是半導體設備的重要零部件之一,通常由控制器、驅動器、手臂及末端執行器等部分組成,具有高潔凈度、高平穩性、高精度、高效率和高可靠性的特點。其主要應用于半導體制造的前段工序,用于搬送、運輸以及定位半導體[更多]
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