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微機電系統

推薦專家報告:基于金剛石薄膜的微機電諧振器制作及性能研究

中國粉體網訊 微機電系統(MEMS)是將微型機械結構、傳感器、執行器與集成電路集成于微小芯片的技術,小如米粒卻能讓設備擁有“感知與互動”的智能能力。在人工智能技術迅猛發展與全球科技格局深度變革的背景下,開發基于新材料體系的高[更多]

資訊 金剛石金剛石薄膜微機電系統微機電諧振器半導體材料
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