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徐永寬

推薦碳化硅單晶生長:邁向大尺寸、高質量的征途

中國粉體網訊 目前,用于SiC晶體生長的主要技術包括物理氣相輸運(PVT)法、高溫化學氣相沉積( HTCVD)法,以及頂部籽晶溶液生長(TSSG)法。其中,PVT法作為現階段發展最為成熟、應用最廣且商業化程度最高的SiC單晶[更多]

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