推薦新“球形納米氧化鋁拋光液”：我會更好地幫助碳化硅晶圓拋光！

中國粉體網訊 近日，國家知識產權局信息顯示，湖南皓志科技股份有限公司取得一項名為“一種碳化硅晶圓拋光用的球形納米氧化鋁拋光液”的專利，拋光液移除速率高、懸浮分散性能好。化學機械拋光（Chemical Mechanical P[更多]